Micromachining 기술을 이용한 초소형 자기공명센서 구조 연구

Study of structure for miniaturized magnetoelastic resonant sensor using micromachining technique

  • 고중규 (한양대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 김경석 (한양대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 안진호 (한양대학교 공과대학 재료공학과)
  • 발행 : 1998.11.01