Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Evaluation of Youngs Modulus and Yield Strength of Al Film in Micro Actuators Using Microcantilever Beams

Microcantilever beam을 이용한 마이크로 액츄에이터용 알루미늄 박막의 탄성계수 및 항복강도의 평가

  • 손동일 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 권동일 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 한준희 (한국표준과학연구원 소재특성평가센터) ;
  • 조양구 (한국표준과학연구원 소재특성평가센터)
  • Published : 1998.11.01
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Abstract

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