직접이온빔으로 증착된 Carbon Nitride 박막의 기판개질 효과에 대한 연구

  • 이덕연 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 김용환 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 최동준 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 한동원 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 김인교 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 백홍구 (연세대학교 금속공학과)
  • Published : 1998.11.01