Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

미세간격 패널에서의 Getter 특성 및 진공도 측정

  • 임상철 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
  • 곽민기 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
  • 한정인 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
  • 박용규 ;
  • 이인규 (한국항공대학교 항공재료공학과)
  • Published : 1998.02.01
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Abstract

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