Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Outagassing rate of TiN and BN thin film coating on stainless steel

  • 이상균 (한국표준과학연구원 역학연구부 진공그룹) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 역학연구부 진공그룹) ;
  • 권오진 (성균관대학교 물리학과) ;
  • 정재인 (포항산업과학연구원 계측연구팀)
  • Published : 1998.02.01
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Abstract

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