Improve the precision of diffractimetor for the grating period measure with CCD camera

CCD 카메라를 이용한 격자주기(Grating Period) 측정용 정밀 회절계의 정밀 정확도 향상

  • 송원영 (인하대학교 전자제료공학과)
  • Published : 1998.08.01