Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Characteristic of Self-Aligned Single Grain PZT Thin Films utilizing Contact Plug Structure

Contact Plug 구조를 이용한 자기정렬 단결정립 PZT 박막의 특성

  • 김광호 (서울대학교 공과대학 재료공학부 금속공학과) ;
  • 이병일 (서울대학교 공과대학 재료공학부 금속공학과) ;
  • 주승기 (서울대학교 공과대학 재료공학부 금속공학과)
  • Published : 1997.10.01
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Abstract

Keywords