Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1997.10a
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Pages.127-127
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1997

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Uniformity-Microstructure Relationship of BST Films Grown by MOCVD

MOCVD 방법으로 증착시킨 BST 박막의 Uniformity-미세구조 관계

권현자 (LG 종합기술원) ;
김현하 (LG 종합기술원) ;
정영우 (LG 종합기술원) ;
이정수 (LG 종합기술원) ;
윤학로 (알파사이언스)

Published : 1997.10.01

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Abstract

Keywords