Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Fabrications of Cr/Si$O_{2}$ etch mask for GaN-based Blue Laser Diodes

GaN 청색 레이저 소자 제조를 위한 Cr/Si$O_{2}$ 식각 mask 제조

  • 김현수 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
  • 이재원 (삼성종합기술원 광반도체 연구실) ;
  • 유명철 (삼성종합기술원 광반도체 연구실) ;
  • 김태일 (삼성종합기술원 광반도체 연구실) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실)
  • Published : 1997.10.01
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Abstract

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