Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Effects of post annealing and oxidation processes on the removal of damage generated during the shallow trench etch process

Shallow trench 식각 공정시 발생하는 손상의 후속 열처리 및 산화공정에 따른 거동에 관한 연구

  • 이영준 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 황순원 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이주욱 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과)
  • Published : 1997.10.01
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