한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

ICBD(Ionized Cluster Beam Deposition) 방법에 의한 Patterned Si 기판위 Cu 박막의 Step coverage와 평탄화 기술 연구

  • 백민 (충남대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 손기황 (충남대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 김도진 (충남대학교 공과대학 재료공학과)
  • 발행 : 1997.10.01
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