Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.05a
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- Pages.108-108
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- 1997
Solid Phase Crystallization of LPCVD Amorphous Silicon Films Fabricated by Discontinuous Deposition Using Interrupted Gas Supply
주입가스 차단을 이용하여 불연속 증착방법에 의해 제조된 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화
Abstract
Keywords