A Study on the Metal Induced Lateral Crystallization Behavior of Ion Mass Doped Amorphous Silicon

이온 질량 주입된 비정질 실리콘의 금속 유도 측면 결정화 거동에 관한 연구

  • 김태경 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 박철호 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 이병일 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 주승기 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 1997.05.01