Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Si Wet Etching by Anisotropic Etching Solution, TMAH

이방성 식각용액인 TMAH에 의한 Si 습식 식각

  • 이재복 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 홍경일 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 오세훈 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 전민석 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1997.05.01
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Abstract

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