Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1997.05a
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Pages.21-21
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1997

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Characterization of MOCVD TiN produced by using TDEAT(Ti[N$(C_{2}H_{5})_2]_4$), TDMAT(Ti[N$(CH_{3})_2]_4$$_4$)

TDEAT(Ti[N$(C_{2}H_{5})_2]_4$), TDMAT(Ti[N$(CH_{3})_2]_4$)를 이용하여 증착시킨 MOCVD TiN 박막 특성비교

오상헌 (국민대학교 금속재료공학과) ;
김지용 (국민대학교 금속재료공학과) ;
이재갑 (국민대학교 금속재료공학과) ;
신현국 ((주)유피케이컬) ;
박상준 ((주)아펙스) ;
김재호 ((주)아펙스)

Published : 1997.05.01

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Abstract

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