Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.05a
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- Pages.20-20
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- 1997
Study on the microcrystalline oxide incorporated diffusion barrier for Cu metallization
구리배선재료에서 산화물이 도입된 확산방지막의 특성에 관한 연구
Abstract
Keywords