Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Formation of Cobalt-polycide gate electrode

코발트 폴리사이드 게이트 전극 형성

  • 심현상 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 구본철 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 배규식 (수원대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1997.05.01
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Abstract

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