Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.05a
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- Pages.13-13
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- 1997
The study of the formation of Co$Si_{2}$ through the thin oxide interlayer of Si(100)
Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$ 형성에 관한 연구
Abstract
Keywords