Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Thermal desorpption sppectroscoppy study on si(100) during chemical treatments

  • 이상균 (한국표준과학연구원 역학연구부 압력·진공 그룹) ;
  • 이규장 (한국표준과학연구원 역학연구부 압력·진공 그룹) ;
  • 홍승수 (한국표준과학연구원 역학연구부 압력·진공 그룹) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 역학연구부 압력·진공 그룹) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 역학연구부 압력·진공 그룹)
  • Published : 1997.02.01
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Abstract

Keywords