Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Single Electron Transistor 제작용 실리콘박막의 열처리 효과

  • 이재희 (경일대학교 표면물리연구실) ;
  • 이원식 (경일대학교 표면물리연구실) ;
  • 고재석 (포항산업과학연구원 자동화부문 전력전자연구팀) ;
  • 김광일 (포항산업과학연구원 자동화부문 전력전자연구팀) ;
  • 권영규 (위덕대학교 전자공학과)
  • Published : 1997.02.01
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