Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Development of high precision ellipsometer

초정밀 타원해석기의 개발

  • 이윤우 (한국표준과학 연구원 양자연구부) ;
  • 조현모 (한국표준과학 연구원 양자연구) ;
  • 조용재 (한국표준과학 연구원 양 자연구부) ;
  • 이인원 (한국표준과학 연구원 양자연구부) ;
  • 박현용 (아주대학교 물리학과) ;
  • 김상열 (아주대학교 물리학과)
  • Published : 1997.08.01
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Abstract

Keywords