회로 모델을 통한 ICP 방전의 전자가열 이론

• 윤남식 (기초과학지원연구소) ;
• 최희환 (한국과학기술원) ;
• 김성식 (한국과학기술원) ;
• 김병철 (기초과학 지원연구소) ;
• 양장규 (기초과학지원연구소) ;
• 홍재식 (기초과학지원연구소) ;
• 황순모 (기초과학지원연구소) ;
• 이경수 (기초과학지원연구소) ;
• 최덕인 (기초과학지원 연구소)

• Published : 1996.06.01

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