한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

고에너지 이중이온주입(3 MeV $P^+$ + 3 MeV $C^+$) 한 실리콘의 결함거동

Defect Behavior of a Doubly Implanted (3 MeV $P^+$ + 3 MeV $C^+$) Silicon

  • 조남훈 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 허태훈 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속·재료공학과)
  • 발행 : 1996.06.01
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