한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

LPCVD 다결정 실리콘 박막의 SSIC(seed selection through ion channeling) 공정에 관한 연구

A Study on SSIC(seed selection through ion channeling) Processings of LPCVD Polycrystaline Silicon Films

  • 황의훈 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 정세진 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속·재료공학과)
  • 발행 : 1996.06.01
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