Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

DC MAGNETRON SPUTTERING 법에 의한 IT로 제작한 ITO 박막의 특성

  • 박장식 (삼성코닝주식회사 정밀평판사업부) ;
  • 황상연 (삼성코닝주식회사 정밀평판사업부) ;
  • 이수선 (삼성코닝주식회사 정밀평판사업부) ;
  • 강태수 (삼성코닝주식회사 정밀평판사업부)
  • Published : 1996.02.01
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Abstract

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