Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

The Effect of Si Self Implantation on Solid Phase Crystallization of Amorphous Silicon Films Grown by LPCVD

LPCVD법으로 증착된 비정질 실리콘박막의 고상결정화에 미치는 자기이온주입효과

  • 황의훈 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속·재료공학과)
  • Published : 1996.02.01
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