Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1996.02a
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- Pages.40-40
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- 1996
A Study on the electrical Properties of Poly-Si Thin Film Transistor using sputter-deposited gate $SiO_2$ films
Sputter로 증착된 케이트 SiO2 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성에 관한 연구
Abstract
Keywords