Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 1996.09a
- /
- Pages.54-54
- /
- 1996
Simulation study of $CrF_x$ Attenuated phase-Shifting mask
$CrF_x$ 변조 위상 변위마스크의 모사 연구
Abstract
Keywords