대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1996년도 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.1974-1976
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- 1996
(110) 실리콘의 이방성 식각을 이용한 빗 모양 액츄에이터의 제작
Fabrication of Electrostatically Driven Comb Actuator Using (110) Oriented Si Anisotropic Etching
- Lim, Hyung-Taek (School of Elec. Eng., Seoul Nat'l Univ.) ;
- Lee, Sang-Hun (School of Elec. Eng., Seoul Nat'l Univ.) ;
- Kim, Seong-Hyok (School of Elec. Eng., Seoul Nat'l Univ.) ;
- Kim, Yong-Kweon (School of Elec. Eng., Seoul Nat'l Univ.) ;
- Lee, Seung-Ki (Dept. of Elec. Eng., Dankook Univ.)
- 발행 : 1996.07.22
초록
An electrostatically driven comb actuator with
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