대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1995년도 추계학술대회 논문집 학회본부
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- Pages.600-602
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- 1995
$O_2$ RIE 공정을 이용한 20{\mu}m$ 두께의 폴리이미드 마이크로 구조물의 제작
Fabrication of the 20{\mu}m$ -height Polyimide Microstructure Using $O_2$ RIE Process
- Baek, Chang-Wook (Department of Electrical Engineering, Seoul National University) ;
- Kim, Yong-Kweon (Department of Electrical Engineering, Seoul National University)
- 발행 : 1995.11.18
초록
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