A study on Formation and Wear-Resistant Enhancement of Ti/TiN Multilayers by CAPD Method

CAPD법에 의한 Ti/TiN 다층박막의 형성 및 내마모향상에 관한 연구

  • 이호신 (성균관대학교 금속공학과) ;
  • 남경훈 (성균관대학교 금속공학과) ;
  • 한전건 (성균관대학교 금속공학과) ;
  • 송건 (수원전문대학 금형설계과)
  • Published : 1995.11.01