Growth of Tin Oxide Thin Film deposited by a Hybrid Ion Beam

혼합 이온빔을 이용한 주석산화물 박막의 성장

  • 최원국 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
  • 조준식 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
  • 송석균 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
  • 정형진 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
  • 고석근 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
  • 전진석 (한국가스공사, 가스이용연구실) ;
  • 최동수 (한국가스공사, 가스이용연구실)
  • Published : 1995.11.01