Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1995.11a
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Pages.66-67
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1995

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Formation of TiW silicide as bottom electrode of antifuse

안티퓨즈 소자의 하층 전극으로 사용될 TiW 실리사이드의 제조

이재성 (경북대학교 전자공학과) ;
류창명 (경북대학교 전자공학과) ;
이석현 (경북대학교 전자공학과) ;
김창균 (경북대학교 전자공학과) ;
이용현 (경북대학교 전자공학과)

Published : 1995.11.01

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Abstract

Keywords