Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Thermal Stability of Molybdenum Nitride Thin Film as a Copper Diffusion Barrier

구리확산방지막으로서 Molybdenum Nitride 박막의 열적안정성 연구

  • 이정엽 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 이재석 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 박종완 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 오경희 (국립공업기술원 종합분석부)
  • Published : 1995.11.01
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Abstract

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