Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

The characteristics of TiN as a barrier for the diffusion of Cu

TiN의 Cu 확산 방지막 특성

  • 이승윤 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 라사균 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이원준 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 김동원 (경기대학교 재료공학과) ;
  • 천성순 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 박종욱 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1995.11.01
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Abstract

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