Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1995.11a
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- Pages.32-33
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- 1995
Analysis of metal impurities metal the p-type silicon wafer
P형 실리콘 웨이퍼내의 금속 불순물 분석
- Lee, Seong-Ho ;
- Kim, Hong-Rak ;
- Seo, Gwang ;
- Kang, Seong-Geon ;
- Kim, Dong-Su ;
- Ryu, Geun-geol ;
- Hong, Pilyeong
- 이성호 (산업과학기술연구소 반도체 연구팀) ;
- 김홍락 (산업과학기술연구소 반도체 연구팀) ;
- 서광 (산업과학기술연구소 반도체 연구팀) ;
- 강성건 (산업과학기술연구소 반도체 연구팀) ;
- 김동수 (산업과학기술연구소 반도체 연구팀) ;
- 류근걸 (산업과학기술연구소 반도체 연구팀) ;
- 홍필영 (포스코휼스(주) R&D팀)
- Published : 1995.11.01
Abstract
고집적 회로 제작에 사용되는 P-형 실리콘 웨이퍼 내부에 존재하는 금속불순물을 소수캐리어의 여기변화 등을 이용하는 정성적인 SPV 측정과 정량적인 DLTS 측정을 통해서 비교, 분석하였다. 반도체공정상 중요한 오염원이며, 분석이 쉬운 Fe을 주 오염원으로 하여 분석한 결과 SPV와 DLTS에 의한 Fe는 상호연관관계가 성립하며, p-형 실리콘 웨이퍼내의 Fe, FeB 거동을 20
Keywords