Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the Characteristic of Copper etching by ECR plasma

ECR 플라즈마를 이용한 Cu 박막의 건식 식각특성에 관한 연구

  • 이성권 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 천성순 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1995.11.01
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Abstract

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