Vapor Phase Epitaxial Growth of GaN by Sublimation Method

승화법에 의한 GaN의 기상에피텍시 성장

  • 김선태 (대전산업대학교 재료공학과) ;
  • 문동찬 (광운대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1995.11.01