고밀도 플라즈마 식각 공정시 형성된 실리콘 표면의 오염 및 손상 제거에 관한 연구

• 남욱준 (성균관대학교) ;
• 김현수 (성균관대학교) ;
• 염근영 (성균관대학교) ;
• 박형호 (연세대학교) ;
• 윤종구 (국립공업기술원) ;
• 황기웅 (서울대학교)

• Nam, Uk-Jun (Sungkyunkwan University) ;
• Kim, Hyeon-Su (Sungkyunkwan University) ;
• Yeom, Geun-Yeong (Sungkyunkwan University) ;
• Park, Hyeong-Ho (Yonsei University) ;
• Yun, Jong-Gu ;
• Hwang, Gi-Ung (Seoul National University)

• 발행 : 1995.06.01

• PDF