한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

고에너지 이온주입된 씰리콘에서 이차결함 생성에 미치는 이온종류(Si, P, B)의 효과

The Effect of Ion Sppecies(Si, P, B) on Secondary Defect Formation in High Energy Impplanted Silicon

  • 조남훈 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 장기완 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 전자재료공학과)
  • 발행 : 1995.02.01
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