한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

고에너지 자기이온주입된 씰리콘의 결함거동

Defect Behavior in High Energy Self-Implanted Silicon

  • 조남훈 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 장기완 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 전자재료공학과)
  • 발행 : 1995.02.01
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