Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Study on etchong mechanism of copper with ECR chlorine plasma

ECR 염소 플라즈마를 이용한 구리 박막의 식각에 관한 연구

  • 박홍배 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 장홍영 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이평우 (한국과학기술원 물리학과)
  • Published : 1995.02.01
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Abstract

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