Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

엑시머 레이저 스탭퍼 개발

  • 정해빈 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 이각현 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김도훈 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 이종현 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 유형종 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
  • Published : 1995.06.01
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Abstract

한국전자통신연구소에서 개발된 바 있는 KrF 엑시머 레이저 스탭퍼의 개발 과정과 그 결과를 보이고, 동시에 현재 개발중인 ArF 엑시머 레이저 스텝퍼의 진행상황을 보고한다. 본 논문에서는 스탭퍼의 주요 구성요소인 조명계, 투영광학계, 웨이퍼 자동초점 및 자동정렬 시스템을 중심으로 설명하여, KrF와 ArF 에시머 레이저 스탭퍼간의 차이점과 그 특성들을 상호 비교한다.

Keywords