대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1995년도 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.1440-1441
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- 1995
다이오드형 실리콘 전계방출소자의 제작 및 특성평가
Fabrication and Characterization of Diode-Type Si Field Emitter Array
- 박흥우 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) ;
-
주병권
(한국과학기술연구원 정보전자연구부) ;
- 김성진 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) ;
- 정재훈 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) ;
- 박정호 (고려대학교 전자공학과) ;
- 오명환 (한국과학기술연구원 정보전자연구부)
- Park, Heung-Woo (Div. of Information and Electronics Technonlogy, KIST) ;
-
Ju, Byeong-Kwon
(Div. of Information and Electronics Technonlogy, KIST) ;
- Kim, Seong-Jin (Div. of Information and Electronics Technonlogy, KIST) ;
- Jung, Jae-Hoon (Div. of Information and Electronics Technonlogy, KIST) ;
- Park, Jung-Ho (Dept. of Electronics, Korea Univ.) ;
- Oh, Myung-Hwan (Div. of Information and Electronics Technonlogy, KIST)
- 발행 : 1995.07.20
초록
We fabricated diode-type silicon field emitter array device and tested the current-voltage characteristics. Silicon oxide layer having the thickness of
키워드