Ti Underlayer가 Al 배선의 EM 특성에 미치는 영향

Effect of Ti Underlayer on EM Characteristics of Al Line

  • 정병현 (현대전자 반도체 제 1연구소) ;
  • 박홍락 (현대전자 반도체 제 1연구소) ;
  • 최수한 (현대전자 반도체 제 1연구소)
  • 발행 : 1994.11.01