한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

MOCVD 법에 의한 Al 박막의 증착 속도 및 증착 두께 분포

Deposition Rate and Thickness Distribution of Al Thin Film by MOCVD Process

  • 정원영 (한국과학기술원 화학공학과) ;
  • 천성순 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 유형준 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김도현 (한국과학기술원 화학공학과)
  • 발행 : 1994.11.01
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