한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

초미세 다공질 실리콘 구조의 열적 안정성 연구

Thermal Stability of Ultra Fine Porous Silicon Structures

  • 박경호 (한국전자통신연구소 반도체 연구단) ;
  • 이용일 (한국전자통신연구소 반도체 연구단)
  • 발행 : 1994.11.01
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