한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

저압기상화학증착으로 제작된 다결정 실리콘 후막의 기계적 특성

Mechanical Property of Thick Polycrystalline Silicon Films Grown by LPCVD

  • 이용일 (한국전자통신연구소 반도체 연구단) ;
  • 박경호 (한국전자통신연구소 반도체 연구단)
  • 발행 : 1994.11.01
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