Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Effect of Post Annealing Conditions of Ta Doped PZT on the Chracteristics of Sputtered PZT Thin Films

후열처리 조건이 탄탈륨이 첨가된 PZT 박막의 특성에 미치는 영향

  • 길덕신 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 주재현 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 주승기 (서울대학교 금속공학과)
  • Published : 1994.05.01
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