Conduction and Fatigue Characteristics of PZT Thin Film by Co-Sputtering

Co-Sputtering 으로 제조된 PZT 박막의 전도 및 피로 특성

  • 주재현 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 길덕신 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 주승기 (서울대학교 금속공학과)
  • Published : 1994.05.01